2025年1月20日，海关统计数据在线查询平台公布了2024年13类主要半导体设备进口29367台，同比增加4.6％，进口金额196.12亿美元，同比增长8.5％。
2024年，化学气相沉积设备(CVD)和等离子体干法刻蚀机进口额仍然是进口金额最大的二类半导体制造设备，占13类主要半导体设备进口总金额的64.5％。
2024年，离子注入机进口金额增长最快，同比增长35.9％。分步重复光刻机、硅单晶炉和塑封压机等三类半导体设备进口金额分别减少51.1%、41.1%和31.20%。
2024年13类主要半导体设备中国大陆进口数据表
| 设备名称 | 进口量（台） | 进口金额(万美元) | |||
2024年 1-12月 | 同比增长％ | 2024年 1-12月 | 同比增长％ | ||
| 1 | 硅单晶炉 | 58 | -37.0% | 4,872.0 | -41.1% |
| 2 | 研磨机 | 562 | -8.8% | 38,264.2 | -12.2% |
| 3 | 切割设备 | 933 | -18.5% | 21,919.9 | -27.0% |
| 4 | 化学机械抛光机CMP | 371 | -10.2% | 66,754.4 | 0.2% |
| 5 | 氧化扩散炉 | 1,669 | -3.4% | 209,164.5 | 15.6% |
| 6 | 化学气相沉积设备CVD | 1,836 | 3.3% | 544,348.1 | 11.4% |
| 7 | 物理气相沉积设备PVD | 626 | -1.9% | 179,623.7 | 27.7% |
| 8 | 分步重复光刻机 | 240 | -18.9% | 81,002.3 | -51.1% |
| 9 | 等离子体干法刻蚀机 | 1,551 | 5.1% | 52,1045.9 | 18.5% |
| 10 | 离子注入机 | 553 | 30.1% | 181,034.7 | 35.9% |
| 11 | 塑封压机 | 123 | -35.3% | 6,334.6 | -31.1% |
| 12 | 引线键合机 | 10,873 | 22.8% | 61,761.8 | 21.2% |
| 13 | 集成电路工厂专用自动搬运机器人 | 9,972 | -4.2% | 45,107.6 | -9.1% |
| 合 计 | 29,367 | 4.6% | 1,961,233.7 | 8.5% | |
2024年化学气相沉积设备发货地情况表（进口额前五名）
| 新加坡 | 韩国 | 日本 | 美国 | 马来西亚 | |
| 数量(台) | 511 | 257 | 530 | 204 | 71 |
| 进口额(万美元) | 283,757.4 | 82,698.6 | 68,901.6 | 33,957.3 | 30,475.5 |
2024年化学气相沉积设备等进口收货地情况表（进口额前五名）
| 上海市 | 广东省 | 安徽省 | 江苏省 | 北京 | |
| 数量(台) | 260 | 247 | 273 | 301 | 232 |
| 进口额(万美元) | 122,001.7 | 84,338.1 | 75,654.9 | 66,974.6 | 58,495.1 |
2024年等离子体干法刻蚀机进口发货地情况表（进口额前五名）
| 日本 | 马来西亚 | 中国台湾 | 美国 | 韩国 | |
| 数量(台) | 488 | 161 | 179 | 206 | 101 |
| 进口额(万美元) | 217,396.1 | 124,925.1 | 86,653.8 | 33,113.3 | 29,509.1 |
2024年离子体干法刻蚀机进口收货地情况表（进口额前五名）
| 广东省 | 上海市 | 北京市 | 安徽省 | 江苏省 | |
| 数量(台) | 265 | 247 | 367 | 123 | 219 |
| 进口额(万美元) | 133,305.7 | 100,313.9 | 68,768.8 | 67,825.6 | 44,944.2 |
2024年氧化扩散炉发货地情况表（进口额前五名）
| 日本 | 美国 | 新加坡 | 德国 | 韩国 | |
| 数量(台) | 1,071 | 249 | 83 | 111 | 64 |
| 进口额(万美元) | 99,825.7 | 59,109.4 | 24,239.7 | 15,536.7 | 6,310.5 |
2024年氧化扩散炉收货地情况表（进口额前五名）
| 上海市 | 广东省 | 北京市 | 江苏省 | 四川省 | |
| 数量(台) | 349 | 251 | 168 | 332 | 95 |
| 进口额(万美元) | 51,266.2 | 36,521.7 | 26,071.8 | 25,242.4 | 17,840.0 |
2024年离子注入机进口发货地情况表（进口额前三名）
| 美国 | 韩国 | 日本 | 其他 | |
| 数量(台) | 429 | 28 | 64 | 32 |
| 进口额(万美元) | 142682.1 | 17019.9 | 16245.2 | 97.2% |
2024年离子注入机收货地情况表（进口额前五名）
| 数量(台) | 广东省 | 上海市 | 江苏省 | 浙江省 | 北京市 |
| 数量(台) | 106 | 112 | 69 | 56 | 58 |
| 进口额(万美元) | 37959.1 | 31780.5 | 22321.3 | 20273.6 | 17999.8 |
2024年物理气相沉积装置进口发货地情况表（进口额前五名）
| 新加坡 | 美国 | 英国 | 台湾 | 日本 | |
| 数量(台) | 184 | 132 | 41 | 102 | 73 |
| 进口额(万美元) | 117221.0 | 25354.5 | 10453.6 | 8604.5 | 7426.5 |
2024年物理气相沉积装置收货地情况表（进口额前五名）
| 数量(台) | 广东省 | 上海市 | 江苏省 | 山东省 | 四川省 |
| 数量(台) | 110 | 128 | 124 | 28 | 24 |
| 进口额(万美元) | 43610.5 | 37569.1 | 25060.4 | 15306.3 | 12413.8 |
数据来自海关统计数据在线查询平台，2024年1-12月中国制造半导体器件或集成电路用的机器及装置进口量及金额增长情况。
（转载自：半导体芯科技）