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PECVD等离子化学气相沉积设备(单腔)

PL-200(PECVD) 是半导体行业中常用的一种薄膜沉积技术,用于生产高质量的薄膜层,如介电层、低介质材料等,这些薄膜对于提高半导体器件的性能和可靠性至关重要。在光电子器件的生产中,PECVD技术被用于沉积高质量的介电薄膜和光学薄膜,以制造激光器、光学调制器、光纤传感器等器件。PECVD也被用于硅基光电子器件的生产,这些器件在光通信和集成光学中具有重要应用。PECVD在半导体、新能源、生物医学、电子以及材料学等领域都有着重要作用,随着技术的不断进步和应用领域的不断扩大,这项技术将在更多领域发挥重要作用并推动相关产业的发展

设备应用

PECVD(等离子体增强化学气相沉积)是一种利用等离子体在较低温度下促进化学反应的技术,主要用于在基片上沉积固态薄膜。 这一技术是在反应器内,通过直流电压、交流电压、射频、微波或电子回旋共振等方法实现气体辉光放电,形成低温等离子体。这种等离子体包含正离子、电子和中性反应分子,其中自由基具有很高的化学活性。化学反应:在等离子体的作用下,通入适量的反应气体,这些气体在等离子体中发生化学反应,生成薄膜的组成原子或分子。反应生成的物质在基片表面形成固态薄膜。由于等离子体提供了反应所需的能量,这一过程可以在较低的温度下进行,通常在200-400摄氏度之间,特别适合对温度敏感的材料。此外,PECVD技术的优势还包括能够降低反应温度,减少对基板材料的热应力,同时提高反应速率和薄膜的附着力及致密性。

设备特点

  • 工艺腔顶盖用气动自动方式实现无尘操作
  • 高抽气能力真空系统采用高抽速干泵
  • 工艺真空腔充分满足大批量生产需求
  • 自动射频匹配单元提高系统硬件的可靠性和重复性
  • 全面积喷淋头可实现均匀的气体分布
  • 适用多种半导体材料进一步提高生产效率
  • 介电材料(SiOx、SiNx、SiOxNy等) 硅基材料(Si、a-Si:H、poly Si)

  • 2、3、4、8寸

  • 100-400℃

  • 集成电路和芯片制造、微机电系统 (MEMS)制造、显示面板、太阳能电池、电子与通信、生物医学应用、光学领域等