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射频电源（主图）.jpg

COMET射频电源供电系统由阻抗匹配网络、射频发生器和真空电容等关键部件组成，能够精确控制硅晶圆盘和玻璃基片的等离子体处理工艺，确保产品的高品质与高性能。

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