COMET电源

COMET射频电源供电系统由阻抗匹配网络、射频发生器和真空电容等关键部件组成，能够精确控制硅晶圆盘和玻璃基片的等离子体处理工艺，确保产品的高品质与高性能。

设备应用

射频发生器作为关键部件，不仅活跃在半导体和平板显示器制造领域，还广泛应用于工业激光和医疗应用等领域，展现出强大的通用性和适应性。 COMET的射频电源系统被广泛应用于等离子体处理工艺中，如刻蚀、沉积和清洗等步骤，是半导体制造和平板显示器生产中的关键设备。