Edwards涡轮分子泵

设备应用

涡轮分子泵因其高效、清洁、无油污染等特点，被广泛应用于多个领域： 1.高能加速器：在粒子加速器中，需要极高程度的真空以减少粒子与气体分子的碰撞，从而提高加速效率和精度。涡轮分子泵能够满足这一需求，为加速器提供稳定的真空环境。 2.可控热核反应装置：在核聚变反应中，高温和高压的环境要求极高的真空度以减少杂质对反应的影响。涡轮分子泵能够确保反应室内的高真空度，从而保障核聚变反应的顺利进行。 3.重粒子加速器：与高能加速器类似，重粒子加速器也需要高真空度以减少粒子与气体分子的碰撞。涡轮分子泵在这方面发挥着重要作用。 4.真空镀膜：在真空镀膜过程中，需要保持真空室内的高真空度以防止气体分子对镀膜质量的影响。涡轮分子泵能够提供稳定的真空环境，确保镀膜过程的顺利进行。 5.高级电子器件制造：在制造高级电子器件时，如半导体芯片等，需要保持生产环境的高真空度以防止杂质对器件性能的影响。涡轮分子泵能够满足这一需求，为电子器件制造提供清洁的真空环境。 特点与优势： 1.启动快：涡轮分子泵能够在短时间内迅速启动并达到稳定的抽气效果。 2.抗射线照射：能够抵抗各种射线的照射，适用于高能物理和核聚变等研究领域。 3.耐大气冲击：能够承受大气压力对泵的冲击，确保泵在恶劣环境下的稳定运行。 4.无气体存储和解吸效应：涡轮分子泵在工作过程中不会存储气体分子，也不会在停止工作后释放气体分子，从而避免了气体解吸效应对真空度的影响。 5.无油蒸气污染：由于涡轮分子泵通常采用无油润滑系统，因此不会产生油蒸气污染问题。